1.利用inspection tools發現defects並進行缺陷修正

2. 缺陷修正裝置

Model: LM530B

Laser: ND-YLF

3. 缺陷修正方法

Zapping: 利用Laser瞬間蒸發defects

Deposition : 利用Laser或Ion beam energy，將gas(Cr)形象之material沈積並固定在pattern的特定位置上。