PKLT 之laser
writing
system使用raster
scan
strategy在光罩上形成pattern。
擁有final
lens的Optical
head會以固定之速度在X方向移動,而Acousto-Optic
Deflector (AOD)在掃描的同時在Y軸deflect
laser。
Optical
head會持續在X軸形成pattern,直到X方向完成scan
strip為止。完成scan
strip後,optical
head會折回並移轉至Y方位來進行下一個scan
strip。
此工程會持續至所有pattern area形成為止。在掃描的過程中,laser
beam會依Acousto-Optic
Modulator(AOM)之pattern
data做調整。 |