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PKLT 之laser writing system使用raster scan strategy在光罩上形成pattern。
擁有final lens的Optical head會以固定之速度在X方向移動,而Acousto-Optic Deflector (AOD)在掃描的同時在Y軸deflect laser。
Optical head會持續在X軸形成pattern,直到X方向完成scan strip為止。完成scan strip後,optical head會折回並移轉至Y方位來進行下一個scan strip。
此工程會持續至所有pattern area形成為止。在掃描的過程中,laser beam會依Acousto-Optic Modulator(AOM)之pattern data做調整。
   
 
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