Product ¡n Mask Process ¡n Defect Inspection¡³¡³¡³¡³
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¡@Defect Type
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¡@Die-to-Die Inspection
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¡@Die-to-DataBase Inspection
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¡@Defect Repair
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1. Repairing defects identified by the inspection tools.
2. Repair Equipment¡G Laser : DRS II 840-e¡B Ion Beam : ACCURA 800
3. Repair method¡G
-Milling : Instantaneous evaporation of defects using Laser
-Deposition : Materials in the form of gas (Cr) are deposited
and fixed at specific location on the pattern using Laser or
Ion beam energy.
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