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警告

载入组件错误:com_tags,组件没有找到

Defect Inspection

ü   Defect Type

defect1

ü   Die-to-Die Inspection

defect2

ü   Die-to-DataBase Inspection

defect3

ü   Defect Repair

 defect4

 

 

1.利用inspection tools发现defects并进行缺陷修正

 

2. 缺陷修正装置

 

Model: LM530B

Laser: ND-YLF

 

3. 缺陷修正方法

 

Zapping: 利用Laser瞬間蒸發defects

Deposition : 利用LaserIon beam energy,將gas(Cr)形象之material沈積並固定在pattern的特定位置上。