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Develop Process

Develop工程是利用mask曝光部及非曝光部之resist溶解度的差異形成resist pattern的工程。Develop的方法有好幾種,但在製造光罩時,常使用利用fan nozzle或binary nozzle之spin spray或puddle dispense等方法。
在各工程需考慮develop速度及develop uniformity等來選擇適當的方法。