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大型光罩技術

Large Area Mask

MURA是指顯示器亮度不均勻造成的現象,但如果光罩本身已有MURA現象,則在TFT LCD上將造成嚴重的品質問題。因此避免在光罩上產生MURA是一個極為重要的技術問題。 在光罩製程中會產生MURA問題,主要是在圖形處理的製程及光罩描繪的製程。本公司除了以製程能力提昇來降低此一現象的產生外,在圖形處理製程也投入大量研究,從根本的圖形資料處理來避免光罩上MURA的產生。

 

Normal LCD Mask spec

   GTM HTM  Mask spec