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製造 TFT LCD Mask

製造TFT LCD Mask

LCDLiquid Crystal Display之簡稱,擁有液體及固體間之特性。液晶(liquid crystal)如同液體般為具有流動性之有機分子,擁有結晶般規則性之排列狀態。液晶之分子排列會因外部電界改變排列,利用排列狀態影響光線投射量之性質,使用為液晶顯示器(LCD)。使用Transistor調整供應畫素電壓的開關,此被稱為active matrix,並構成TFT(Thin Film Transistor)TFT能夠獨立控制畫素,因此無line干涉之Crosstalk且可顯示清晰的畫質。

 

TFT-LCD動作原理

TFTLCD1

LCD Panel之透明電極有電壓投入時,液晶會如圖形B般面向電界方向。此時,上下Polarizer之角度已形成90度,因此無法有光線通過。若無電壓投射,光線會經由液晶排列通過,由TFT matrix在想要的部位選擇性的讓光線通過而顯示想要的patternTFT matrix之構造如下圖:

TFT-LCD之構造

TFTLCD2

TFT-LCD動作原理

TFTLCD3

  

連接之共通電源

TFTLCD4

TFT-LCD製作工程中,若能減少曝光工程,在收率或降低製造費上會有很多的利益產生。一般來說,製作TFT-LCD本需7mask,但將TFT構造之etch stopper type改變為back channel etch type後可將mask縮減為5張。為了減少mask數量經過許多努力變更了部分工程後,目前使用4張即可。為了開發4 mask工程所需之技術為slit mask製造技術。