Defect Inspection
ü Defect Type
ü Die-to-Die Inspection
ü Die-to-DataBase Inspection
ü Defect Repair
1.利用inspection tools發現defects並進行缺陷修正
2. 缺陷修正裝置
Model: LM530B
Laser: ND-YLF
3. 缺陷修正方法
Zapping: 利用Laser瞬間蒸發defects
Deposition : 利用Laser或Ion beam energy，將gas(Cr)形象之material沈積並固定在pattern的特定位置上。