製造 TFT LCD Mask
製造TFT LCD Mask
LCD為Liquid Crystal Display之簡稱，擁有液體及固體間之特性。液晶(liquid crystal)如同液體般為具有流動性之有機分子，擁有結晶般規則性之排列狀態。液晶之分子排列會因外部電界改變排列，利用排列狀態影響光線投射量之性質，使用為液晶顯示器(LCD)。使用Transistor調整供應畫素電壓的開關，此被稱為active matrix，並構成TFT(Thin Film Transistor)。TFT能夠獨立控制畫素，因此無line干涉之Crosstalk且可顯示清晰的畫質。
TFT-LCD動作原理
LCD Panel之透明電極有電壓投入時，液晶會如圖形B般面向電界方向。此時，上下Polarizer之角度已形成90度，因此無法有光線通過。若無電壓投射，光線會經由液晶排列通過，由TFT matrix在想要的部位選擇性的讓光線通過而顯示想要的pattern。TFT matrix之構造如下圖：
TFT-LCD之構造
TFT-LCD動作原理
連接之共通電源
在TFT-LCD製作工程中，若能減少曝光工程，在收率或降低製造費上會有很多的利益產生。一般來說，製作TFT-LCD本需7張mask，但將TFT構造之etch stopper type改變為back channel etch type後可將mask縮減為5張。為了減少mask數量經過許多努力變更了部分工程後，目前使用4張即可。為了開發4 mask工程所需之技術為slit mask製造技術。