制造 TFT LCD Mask

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制造TFT LCD Mask

 

LCD为Liquid Crystal Display之简称，拥有液体及固体间之特性。液晶(liquid crystal)如同液体般为具有流动性之有机分子，拥有结晶般规则性之排列状态。液晶之分子排列会因外部电界改变排列，利用排列状态影响光线投射量之性质，使用为液晶显示器(LCD)。使用Transistor调整供应画素电压的开关，此被称为active matrix，并构成TFT(Thin Film Transistor)。TFT能够独立控制画素，因此无line干涉之Crosstalk且可显示清晰的画质。      

 

TFT-LCD动作原理

 

 

LCD Panel之透明电极有电压投入时，液晶会如图形B般面向电界方向。此时，上下Polarizer之角度已形成90度，因此无法有光线通过。若无电压投射，光线会经由液晶排列通过，由TFT matrix在想要的部位选择性的让光线通过而显示想要的pattern。TFT matrix之构造如下图：
 
TFT-LCD之构造

 

TFT-LCD动作原理

 

  

连接之共通电源

在TFT-LCD製作工程中，若能減少曝光工程，在收率或降低製造費上會有很多的利益產生。一般來說，製作TFT-LCD本需7張mask，但將TFT構造之etch stopper type改變為back channel etch type後可將mask縮減為5張。為了減少mask數量經過許多努力變更了部分工程後，目前使用4張即可。為了開發4 mask工程所需之技術為slit mask製造技術。